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螺桿型干式真空泵工作原理 

螺桿泵的工作循環可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程。隨著轉子旋轉，每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環，現以其中的一對齒來說明。   1. 吸氣過程   下圖示出螺桿泵的吸氣過程，所研究的一對齒用箭頭標出。在圖中，陽轉子按逆時針方向旋轉，陰轉子按順時針方向旋轉。圖中的轉子端面是吸氣端面。      圖a示出吸氣過程即將開始時的轉子位置。在這一時刻，這一對齒前端的型線嚙合，且即將與吸氣口連接。隨著轉子開始轉動，由于齒的一端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積，這個齒間容積的擴大，在其內部形成了真空，而此齒間容積又僅與吸氣口連通，因此氣體便在壓差作用下流入其中，如圖b中陰影部分所示。在隨后的轉子旋轉過程中，陽轉子齒不斷從陰轉子齒的齒槽中脫離出來，齒間容積不斷擴大，并與吸氣孔口保持連通。   吸氣過程結束時的轉子位置如圖c所示，其顯著的特點是齒間容積達到峰值。隨著轉子的旋轉，所研究的齒間容積不會再增加。齒間容積在此位置與吸氣孔口斷開，吸氣過程結束。    2 壓縮過程   下圖示出螺桿泵的壓縮過程。圖中的轉子端面是排氣端面。在這里，陽轉子沿順時針方向旋轉，陰轉子沿逆時針方向旋轉。      圖a示出螺桿泵壓縮過程即將開始時的轉子位置。此時氣體被轉子齒和機殼包圍在一個封閉的空間中，齒間容積由于轉子齒的嚙合就要開始減小。   隨著轉子的旋轉，齒間容積由于轉子齒的嚙合而不斷減小。被密封在齒間容積中的氣體被占據體積也隨之減小，導致壓力升高，從而實現氣體的壓縮過程，如圖b所示。壓縮過程可一直持續到齒間容積即將與排氣孔口連通之前。如圖c所示。   3 排氣過程   下圖示出螺桿泵的排氣過程。齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出，如圖a所示。這個過程一直持續到齒末端的型線嚙合，如圖b所示。此時，齒間容積內的氣體通過排氣孔口被排出，封閉的齒間容積的體積變為零。

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